【手机之家新闻】Techhinsights首次在三星Galaxy S23 Ultra智能手机(12GB内存)和三星Galaxy S23 Plus智能手机(16GB内存)上发现了三星D1a LPDDR5X DRAM器件。据三星称，LPDDR5X DRAM的速度是业界最快的，达到每秒8.5千兆位(Gbps)，能效提高了20%。通过在D1a DRAM上应用五个EUVL层，三星实现了最高的比特密度：0.341 Gb/ mm2 (16Gb LPDDR5X K4L6E165YC)。D1a 12Gb LPDDR5X芯片和D1z 12Gb LPDDR5芯片的比较。这两个芯片具有相同的平面布局，但与D1z 12Gb LPDDR5相比，D1a 12Gb LPDDR5X尺寸减小了16.5%。

随着DRAM继续微缩至接近10nm，极紫外光刻(EUVL)技术对提高图案精度变得越来越重要。三星通过应用五个EUVL层，将EUVL技术扩展到D1a DRAM工艺集成。EUVL减少了多图案化过程中的重复步骤，提高了图案的准确性，从而增强了性能，提高了产量，缩短了开发时间。

三星电子于2020年3月在D1z DDR5 DRAM上采用了1个EUVL掩模，SK海力士也在D1a上采用了EUVL掩模。如今，三星是第一个在DRAM D1a上应用五个EUVL掩模的公司，并在DRAM生产中采用EUV光刻技术的第三代DRAM器件，也是第一个在DRAM上完全采用EUVL的技术节点的企业。